【摘 要】
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在超高真空（１０＾－７Ｐａ）条件下用双源蒸镀法在单晶Ｓｉ和ＮａＣｌ衬底上制备了一系列Ｆｅ，Ｄｙ原子配比的成分调制多层膜。用卢瑟福背散射（ＲＢＳ）和俄歇能谱（ＡＥＳ）分析成分沿厚度的分布，并用掠入射Ｘ射线衍射分析（ＸＲＤ）离子束混合前后
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在超高真空（１０＾－７Ｐａ）条件下用双源蒸镀法在单晶Ｓｉ和ＮａＣｌ衬底上制备了一系列Ｆｅ，Ｄｙ原子配比的成分调制多层膜。用卢瑟福背散射（ＲＢＳ）和俄歇能谱（ＡＥＳ）分析成分沿厚度的分布，并用掠入射Ｘ射线衍射分析（ＸＲＤ）离子束混合前后的结构。结果表明，随Ａｒ＾＋离子剂量的增加混合量增加，在１０＾１７Ａｒ＾＋／ｃｍ＾２达到均匀混合，同时混合还诱发非晶化，平均成分约为Ｆｅ６０Ｄｙ４０的多晶膜完全转变为
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