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本文介绍了兆位电路与高纯水的关系,集成电路对水质的要求,以及降低水中TOC(总有机炭)的措施,并介绍了用于高纯水制造的 PVDF(聚偏氟乙烯)新型材料的性能,以及用臭氧杀菌等技术。
兆位电路与高纯水
【摘 要】
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本文介绍了兆位电路与高纯水的关系,集成电路对水质的要求,以及降低水中TOC(总有机炭)的措施,并介绍了用于高纯水制造的 PVDF(聚偏氟乙烯)新型材料的性能,以及用臭氧杀菌等技
【机 构】
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中国科学院半导体研究所北京,邮编:100083
【出 处】
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水处理技术
【发表日期】
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1993年1期
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