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阐述了在半导体生产中悬浮分子污染(AMC)的来源和测试方法,介绍了一种新颖的AMC滤材,并与其他滤材进行了性能比较.
悬浮分子污染的解决方案--一种新颖的玻纤过滤介质
【摘 要】
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阐述了在半导体生产中悬浮分子污染(AMC)的来源和测试方法,介绍了一种新颖的AMC滤材,并与其他滤材进行了性能比较.
【机 构】
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Hollingsworth & Vose公司,美国
【出 处】
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产业用纺织品
【发表日期】
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2003年1期
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