【摘 要】
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ＭＥＭＳ（微电机械系统）出现在２５年以前，但直到９０年代才成为活跃的商品，在日常应用中满足气囊应用系统、血压监视器、电视以及家用设备等的需求。 由于近期ＭＥＭＳ被大量应用于全光网络，因而Ｉｎ－Ｓｔａｔ集团预测，１９９９－２００４
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ＭＥＭＳ（微电机械系统）出现在２５年以前，但直到９０年代才成为活跃的商品，在日常应用中满足气囊应用系统、血压监视器、电视以及家用设备等的需求。 由于近期ＭＥＭＳ被大量应用于全光网络，因而Ｉｎ－Ｓｔａｔ集团预测，１９９９－２００４年间ＭＥＭＳ市场将净增４０亿
MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) appeared more than 25 years ago, but it was not until the 1990s that it became an active commodity, meeting the needs of airbag applications, blood pressure monitors, televisions, and home appliances in everyday applications. Due to the recent intensive use of MEMS in all-optical networks, the In-Stat Group predicts that the MEMS market will increase by 4 billion in 1999-2004.
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