传感器〈薄膜件〉加工工艺

• 作 者: 白聘修
• 机 构: 机电部第二0七研究所
• 出 处: 机械设计与制造
• 发表日期: 1993年5期
• 关键词: 传感器 薄膜件 工艺

<正> 薄膜件是传感器的一个敏感元件,它之所以难以加工,主要是薄膜厚度为δ=0.1_(-0.01)~(+0.04),δ=0.2_(-0.05) 不好保证。况且材料为1C_(r18) Ni_9Ti的不导磁的不锈钢。是一种镍铬不锈钢的典型材料。在切削加工中切屑变形大,相应的切削力也大,而导热性较差。