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本文研究了在金属有机化学气相沉积法（MOCVD）生长过程中，锌（Zn）源和氧（O）源载气流量的改变对ZnO纳米棒阵列的影响。通过改变源材料载气的流量，得到了直径从150nm到20nm范围、均一性明显改善的ZnO纳米棒。采用扫描电子显微镜（SEM），X射线衍射图谱（XRD），拉曼光谱（Raman）和光致荧光光谱（PL）等测试手段对样品的形貌结构和光学特性进行了表征。SEM和XRD结果表明当Zn源和O源的载气流量均为1SLM时，所得的纳米棒直径最均匀，排列整齐，垂直于衬底生长，且结晶度最好。PL谱显示纳米棒的