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【摘 要】
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本文讨论了深耗尽MOS电容器的少子产生机构,提出测量有效少子产生寿命空间分布的方法。对低剂量注B的样品进行了测量,结果表明注入层比体内的有效少子产生寿命低,从Si-SiO_2
【机 构】
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东南大学微电子中心,东南大学微电子中心
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1990年5期
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