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将组合技术和离子束技术结合起来。用于硅基发光材料的研究。用组合离子束技术在硅基材料上制备了６４个直径为２ｍｍ的单元－材料芯片，并对硅基材料芯片各进行了卢瑟辐背散射，质子弹性散射和扫描阴极射一发光特性分析。
组合离子束技术在硅基材料芯片中的应用
【摘 要】
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将组合技术和离子束技术结合起来。用于硅基发光材料的研究。用组合离子束技术在硅基材料上制备了６４个直径为２ｍｍ的单元－材料芯片，并对硅基材料芯片各进行了卢瑟辐背散射，质子弹性散射
【机 构】
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中国科学院上海原子核研究所核分析技术开放实验室
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1999年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金,,中国博士后基金,,上海博士后基金,,中国科学院核分析技术开放实验室资助
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