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本文概略介绍了软X射线散射法检测超光滑表面粗糙度的散射理论、测试方法及测试系统。
软X射线散射法检测超光滑表面粗糙度
【摘 要】
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本文概略介绍了软X射线散射法检测超光滑表面粗糙度的散射理论、测试方法及测试系统。
【出 处】
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光学机械
【发表日期】
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1991年1期
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