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以常用离子镀TiN膜前处理工艺为基点,试建立前处理工艺流程的联系框图,并对框图中关键工序展开讨论,介绍了实际生产中运用成功的经验。
等离子镀TiN膜前处理工艺
【摘 要】
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以常用离子镀TiN膜前处理工艺为基点,试建立前处理工艺流程的联系框图,并对框图中关键工序展开讨论,介绍了实际生产中运用成功的经验。
【机 构】
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江西省科学院
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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1994年06期
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