【摘 要】
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采用多源等离子体注入与沉积(MPIIID)装置制备了不同Al含量的TiAlN涂层,利用X射线能谱仪(EDX)、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、纳米探针和摩擦试验
【机 构】
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哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,
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采用多源等离子体注入与沉积(MPIIID)装置制备了不同Al含量的TiAlN涂层,利用X射线能谱仪(EDX)、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、纳米探针和摩擦试验对涂层的组成以及高温抗氧化和摩擦性能进行分析.结果表明:Al元素的加入明显提高了涂层的高温抗氧化能力,生成的Al2O3能有效地抑制氧的扩散;当Al的原子百分数为6.18%时,涂层硬度最高,约为38 GPa,涂层具有良好的摩擦磨损特性.
The TiAlN coatings with different Al contents were prepared by multi-source plasma injection and deposition (MPIIID). The films were characterized by X-ray photoelectron spectroscopy (EDX), scanning electron microscopy (SEM), X-ray diffraction (XPS), nano-probe and friction test were used to analyze the composition of the coating and its high temperature oxidation resistance and friction performance.The results show that the addition of Al element obviously improves the high temperature oxidation resistance of the coating and the formation of Al2O3 can effectively inhibit Oxygen diffusion; when the atomic percentage of Al is 6.18%, the hardness of the coating is the highest, about 38 GPa, the coating has good friction and wear characteristics.
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