【摘 要】
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高能离子轰击金属表面产生的辐照损伤,使晶格点阵发生严重畸变,并产生微观应力,因而在微观上表现为衍射线形的展宽。基于这种实验现象,本文通过衍射线形的高斯曲线拟合,提出
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高能离子轰击金属表面产生的辐照损伤,使晶格点阵发生严重畸变,并产生微观应力,因而在微观上表现为衍射线形的展宽。基于这种实验现象,本文通过衍射线形的高斯曲线拟合,提出了一种表征离子注入金属表面硬化程度的新参量Gp。实验表明,参量Gp随离子注入剂量的增加而增大。当剂量达到一定量级时,Gp值下降。这说明一旦超过临界剂量,表面硬化机理发生变化。此外,根据晶格畸变与硬度之间的平行关系,初步建立了参量Gp与表面硬度之间的对应关系,从而使用参量Gp可快速无损地估计离子注入金属的表面硬度。
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