溶胶-凝胶法制备工艺参数对Al2O3-SiO2薄膜质量的影响

• 作 者: 同帜 邹力 崔双科 李大川
• 机 构: 西安工程大学环境与化学工程学院,陕西省现代建筑设计研究院
• 出 处: 粉末冶金材料科学与工程
• 发表日期: 2012年6期
• 关键词: 溶胶-凝胶 Al2O3-SiO2复合薄膜 防开裂 sol-gel Al2O3-SiO2 composite films crack resistance

采用溶胶-凝胶法制备Al2O3-SiO2复合薄膜，研究溶胶成分、水解反应温度、热处理环境及烧结温度对薄膜质量的影响。通过黏度测试、热重分析仪（TG-DFG）、X射线衍射分析仪（XRD）和原子力显微镜（AFM）对样品进行表征。结果表明，溶胶的组成与热处理过程中的应力不均是导致薄膜开裂的主要原因。当Al2O3-SiO2（mol／m01）=1：3或1：2，水解反应温度为40℃，热处理环境湿度70％，温度60℃，以0．5℃／min的升温速率升至600℃焙烧2h，缓慢升温且适当保温，可得完好的Al2O3-SiO2复