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微晶硅应变计压力传感器的研制
微晶硅应变计压力传感器的研制
来源 :西北大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:ytli1981
【摘 要】
:
本文介绍了n型微晶硅应变计传感器的研制工作。从应变计的灵敏系数K=-30.5和灵敏系数的温度系数αk=-0.08%℃-1等主要参数可以看到:用微晶硅制作的应变计,灵敏系数高,温度特
【作 者】
:
陈怀溥
王思杰
曹子祥
【机 构】
:
西北大学物理系,西北大学物理系,西北大学物理系
【出 处】
:
西北大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1989年03期
【关键词】
:
应变计
压力传感器
研制
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本文介绍了n型微晶硅应变计传感器的研制工作。从应变计的灵敏系数K=-30.5和灵敏系数的温度系数α
k
=-0.08%℃
-1
等主要参数可以看到:用微晶硅制作的应变计,灵敏系数高,温度特性和线性度好,是传感器领域里很有希望的一种新器件。
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