微晶硅应变计压力传感器的研制

来源 :西北大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:ytli1981
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本文介绍了n型微晶硅应变计传感器的研制工作。从应变计的灵敏系数K=-30.5和灵敏系数的温度系数αk=-0.08%℃-1等主要参数可以看到:用微晶硅制作的应变计,灵敏系数高,温度特性和线性度好,是传感器领域里很有希望的一种新器件。
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