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HBT结构的新进展
HBT结构的新进展
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:highlove
【摘 要】
:
介绍了以In0.03Ga0.97As0.99N0.01材料为基区的GaAs异质结双极型晶体管和以GaAs0.51Sb0.49材料为基区的InP HBT.讨论了GaAs和InP HBT结构的新进展及其对性能的改善,并对各结
【作 者】
:
石瑞英
刘训春
等
【机 构】
:
中科院微电子中心
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2002年6期
【关键词】
:
结构
异质结双极型
晶体管
INP
GAAS
HBT
InP
GaAs
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介绍了以In0.03Ga0.97As0.99N0.01材料为基区的GaAs异质结双极型晶体管和以GaAs0.51Sb0.49材料为基区的InP HBT.讨论了GaAs和InP HBT结构的新进展及其对性能的改善,并对各结构的适用范围和优缺点进行了比较.
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