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材料科学的研究揭示了材料的宏观性能与其微观特征的密切相关性,而各种新颖的表面处理技术及分析测试手段为揭示材料宏观性能与其显微特性之间的内在关联性创造了有利条件[1].其中透射电镜(TEM)就是这些分析测试技术中使用最为广泛一种.金属或合金等的TEM样品制备要求是将样品减薄为无污染、无缺陷以及电子束可以透过的薄区[2],由此可知样品的制备是影响透射电镜观察和分析结果的一个关键因素,即金属试样减薄的成功与否直接影响着透射电镜照片的质量[3].