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讨论了离子注入在人质中输运的数值模拟方法，采用扩散理论和交替方向隐式的Ｄ－Ｒ差分法，以砷离子注入在硅单晶中输运为例，数值模拟结果与实验结果基本相符。
离子注入介质中输运的数值模拟
【摘 要】
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讨论了离子注入在人质中输运的数值模拟方法，采用扩散理论和交替方向隐式的Ｄ－Ｒ差分法，以砷离子注入在硅单晶中输运为例，数值模拟结果与实验结果基本相符。
【机 构】
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暨南大学物理系
【出 处】
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暨南大学学报：自然科学与医学版
【发表日期】
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1999年5期
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