【摘 要】
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本文先介绍了类金刚石碳膜的结构特点及电子能量损失谱的原理和分类;然后着重评述了近年来电子能量损失谱在类金刚石碳膜(及有些金刚石膜)结构表征中的应用;同时也讨论了类金
【机 构】
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兰州大学材料科学系,兰州大学材料科学系,兰州大学材料科学系 730001,730001,730001
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本文先介绍了类金刚石碳膜的结构特点及电子能量损失谱的原理和分类;然后着重评述了近年来电子能量损失谱在类金刚石碳膜(及有些金刚石膜)结构表征中的应用;同时也讨论了类金刚石碳膜经某些后处理后其能量损失谱的变化特征。
In this paper, firstly, the structural characteristics of diamond-like carbon films and the principle and classification of electron energy loss spectra are introduced. Then the application of electron energy loss spectroscopy in the structural characterization of diamond-like carbon films (and some diamond films) The energy loss spectra of diamond-like carbon films after some post treatment are discussed.
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