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研究了电子能量损失谱元素定量分析的影响因素，测定了能量损失谱仪的重要实验参数：接收角和汇聚角．在不同的实验条件下收集了一系列标准样品，如氮化硼、氧化铁、氧化铝、氧化锌、硫化锌、氧化钛、氧化硅和氧化锆的电子能量损失谱，对其元素定量分析的影响因素，包括入口光栏直径、非弹性散射截面计算模型、积分区间宽度和背底拟合函数等进行了探讨，深入分析每个因素对电子能量损失谱的定量结果影响，得到了电子能量损失谱元素定量分析的优化条件．