【摘 要】
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真空微电子加速度计基于隧道效应而工作,其内部固有的低频噪声(如1/f噪声)大大降低其信噪比,而且也是影响精度和线性度的主要因素.采用混频技术和相关检测算法,本文研制和设
【机 构】
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重庆大学新型微纳器件与系统国家重点学科实验室,重庆400030重庆大学微纳系统与新材料国家级国际联合研究中心,重庆400030;重庆大学微系统研究中心,重庆400030;
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真空微电子加速度计基于隧道效应而工作,其内部固有的低频噪声(如1/f噪声)大大降低其信噪比,而且也是影响精度和线性度的主要因素.采用混频技术和相关检测算法,本文研制和设计了一种新型低噪声接口ASIC(专用集成电路).最后测试了加速度计的噪声和线性度,在0～200 Hz范围内输出信号平均噪声密度为69μV·Hz-1/2,线性度相关系数为99.99％,最大的非线性度为0.41％.通过实验结果可以看出该电路能大大改善加速度计的噪声特性和线性度,而且该电路设计思想能用于其它隧道效应加速度计.
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