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本文讨论了铂薄膜温度传感器的设计、制造工艺、膜料与衬底及封装材料的关系。报道了研制成的薄膜铂电阻性能全面符合IEC751标准。
一代新型温度传感器
【摘 要】
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本文讨论了铂薄膜温度传感器的设计、制造工艺、膜料与衬底及封装材料的关系。报道了研制成的薄膜铂电阻性能全面符合IEC751标准。
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1991年3期
【基金项目】
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国家“七五”攻关项目
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