【摘 要】
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根据全介质F-P多层介质薄膜滤波器的原理,设计并模拟计算了一种三腔100GHz窄带通滤波片膜系结构,利用等离子辅助镀膜和光学监测技术,在F7玻璃衬底上完成了器件的制备,并解决
【机 构】
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复旦大学信息学院光科学与工程系,复旦汇成先进光电子器件联合实验室
【基金项目】
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上海应用物理研究中心 (批准号 0 0JC14 0 2 9)资助项目~~
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根据全介质F-P多层介质薄膜滤波器的原理,设计并模拟计算了一种三腔100GHz窄带通滤波片膜系结构,利用等离子辅助镀膜和光学监测技术,在F7玻璃衬底上完成了器件的制备,并解决了衬底减薄、抛光和后继镀膜等关键工艺. 光谱特性测量的结果表明,研制的器件将在光通信以及信息技术的其它领域具有重要的应用价值.
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