【摘 要】
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本文讨论了有关薄膜整体电子学可靠性的方法。一个电路的总的(固有的)可靠性 P_(OA)是由单个部件可靠性 Pc、设计可靠性 P_d 和制造可靠性 P_f 的乘积来决定的。文中给出了有
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本文讨论了有关薄膜整体电子学可靠性的方法。一个电路的总的(固有的)可靠性 P_(OA)是由单个部件可靠性 Pc、设计可靠性 P_d 和制造可靠性 P_f 的乘积来决定的。文中给出了有关真空沉积薄膜电阻器及电容器的单个元件可靠性的数据。根据8,000,000元件小时数据,所提出的电阻器和电容器的最大失效率分别为每一千小时0.014%和0.057%(可以有60%的可信度)。文中还概述了制造薄膜电路的工艺过程。
This article discusses methods for determining the overall electronic reliability of a film. The total (intrinsic) reliability P OA of a circuit is determined by the product of individual component reliability Pc, design reliability P_d, and manufacturing reliability P_f. The article gives data on the reliability of individual components of vacuum deposited film resistors and capacitors. Based on the 8,000,000 element hour data, the proposed maximum failure rates for resistors and capacitors are 0.014% and 0.057% per thousand hours respectively (with a 60% confidence level). The article also outlined the process of manufacturing thin film circuits.
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