氧化铁薄膜的PCVP过程及其气敏性能初探

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lovechenhua

【摘要】

：

由于α-Fe2O3具有较高的化学稳定性,一般认为它无气敏效应,后来才发现微细化、低结晶化及薄膜化的α-Fe2O3具有显著的气敏性,

【作者】

：

徐甲强沈瑜生曾恒兴王弘

【机构】

：

中国科技大学,郑州轻工学院,郑州轻工学院

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

1989年3期

【关键词】

：

气敏性能 PCVP 氧化铁薄膜微细化气敏元件生长动力学成膜工艺微机控制激发源高频电场

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由于α-Fe2O3具有较高的化学稳定性,一般认为它无气敏效应,后来才发现微细化、低结晶化及薄膜化的α-Fe2O3具有显著的气敏性,因此其气敏效应的发现晚于γ-Fe2O3。现已有了实用化的α-Fe2</sub

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