【摘 要】
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分析了三维表面粗糙度激光三角法测量的基本原理,研究了直射式和对称斜射式三角法测量的光路图和光路几何关系,给出了表面微观高度信息分析的数学模型。从定性和定量2方面对
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分析了三维表面粗糙度激光三角法测量的基本原理,研究了直射式和对称斜射式三角法测量的光路图和光路几何关系,给出了表面微观高度信息分析的数学模型。从定性和定量2方面对直射式和对称斜射式三角法测量的分辨率进行了分析比较,并分析了激光三角法在三维表面粗糙度测量中的应用。
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