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真空弧镀过程中阴极耗损率的研究
真空弧镀过程中阴极耗损率的研究
来源 :江苏理工大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:leolee4510
【摘 要】
:
在真空弧镀过程中,阴极耗损率随阴极材料特性、真空室的温度、压力、气体成分、阴极和阳极的结构等因素而变化。笔者测定了铜、铝、钛、镍、钼、不锈钢、软铁和黄铜等工程上常
【作 者】
:
张际先
【机 构】
:
江苏理工大学农机学院
【出 处】
:
江苏理工大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
镀膜
真空电弧
阴极
耗损率
coating filmvacuum arccathode/erosion rate
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在真空弧镀过程中,阴极耗损率随阴极材料特性、真空室的温度、压力、气体成分、阴极和阳极的结构等因素而变化。笔者测定了铜、铝、钛、镍、钼、不锈钢、软铁和黄铜等工程上常用镀层材料的阴极耗损率,并分析了弧电流强度、真空室内气体成分和压力等因素对阴极耗损率的影响。
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