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锑化物激光器的研究进展
锑化物激光器的研究进展
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lbxs
【摘 要】
:
锑化物激光器在2~5μm波段具有广阔的应用前景。综述了锑化物激光器的研究进展,重点论述了材料生长、结构设计、器件工艺、封装技术以及新的器件结构,讨论了其中存在的主要技术
【作 者】
:
刘盛
张永刚
【机 构】
:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2007年11期
【关键词】
:
分子束外延
锑化物
激光器
molecular beam epitaxy
antimonide
laser
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锑化物激光器在2~5μm波段具有广阔的应用前景。综述了锑化物激光器的研究进展,重点论述了材料生长、结构设计、器件工艺、封装技术以及新的器件结构,讨论了其中存在的主要技术问题,并指出了锑化物激光器不断向长波长方向扩展的趋势。
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