【摘 要】
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本项目是863计划“八五”和“九五”期间两个重大关键技术项目“金刚石膜制备关键设备研制（合同号：863-715-02(Z）-A)”和“大面积高光学质量金刚石膜制备、加工及应用关键技术研
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本项目是863计划“八五”和“九五”期间两个重大关键技术项目“金刚石膜制备关键设备研制（合同号：863-715-02(Z）-A)”和“大面积高光学质量金刚石膜制备、加工及应用关键技术研究（合同号：863-715-Z38-03)”，以及“十五”863计划国防先进材料专项“高马赫数导弹红外雷达窗口（球罩）光学级金刚石膜制备和加工关键技术研究(合同号：2002AA305508)”项目的阶段成果。
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