【摘 要】
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含有W导体线条的氧化铝多层陶瓷衬底是在H_2、N_2和水蒸汽中烧成的,而且炉内的H_2和H_2O的含量是变化的。验证了每种气氛对烧结的Al_2O_3陶瓷和W导体的物理性能的影响。实验
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含有W导体线条的氧化铝多层陶瓷衬底是在H_2、N_2和水蒸汽中烧成的,而且炉内的H_2和H_2O的含量是变化的。验证了每种气氛对烧结的Al_2O_3陶瓷和W导体的物理性能的影响。实验结果表明挠度、密度,气孔率以及电镀和钎焊的能力在烧结过程中都可能受到炉内气氛H_2和H_2O含量的影响。
Alumina multilayer ceramic substrates containing W conductor lines are fired in H 2, N 2 and water vapor, and the contents of H 2 and H 2 O in the furnace are varied. The influence of each atmosphere on the physical properties of the sintered Al 2 O 3 ceramic and the W conductor was verified. The experimental results show that the deflection, density, porosity and plating and brazing capacity may be affected by the H 2 and H 2 O contents in the furnace during the sintering process.
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