Physical-Mechanical Properties of Germanium Doped Monocrystalline Silicon

来源 :材料科学与工程：中英文A版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：einsun007

【作者】

：

la Kurashvili Ia Ekaterine San

【机构】

：

IliaVekuaSukhumiInstituteofPhysicsandTechnology

【出处】

：

材料科学与工程：中英文A版

【发表日期】

：

2013年10期

【关键词】

：

单晶硅物理机械性能硅锗动剪切模量掺杂微观结构外延生长载体浓度 Silicon germanium microhardness interna

【基金项目】

：

AcknowledgmentsThis research is supported by STCU （Science and Technology Center in Ukraine） project number P467.

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