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惯性约束聚变靶材料面密度及其均匀性分布可以通过β射线束透射法进行测量，要完成这一测量。需首先用一系列面密度已知、组成成分与待测材料相同的标准材料对测量装置进行刻度。针对惯性约束聚变靶材料一类还处于研制阶段的新材料的密度测量，提出了用成分相近的材料作为替代标准进行刻度的方法，并用蒙特卡罗方法模拟计算了不同能量电子穿过不同材料的透射率，得到了这种刻度方法对测量结果带来的误差大小，用纸作标准测量CH泡沫靶材料的误差只有百分之几，这一误差在实际测量中可以由蒙特卡罗模拟方法、得到修正。该刻度方法解决了惯性约束聚变靶