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基于部分相干成像理论，考虑了投影曝光系统成像的非线性滤波特点，分析了投影光刻中的光学邻近效应（ＯＰＥ）产生的机理，模拟了掩模上线条的线宽，线间距的变化对光刻成像质量的影响。
光学邻近效应的产生机理分析
【摘 要】
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基于部分相干成像理论，考虑了投影曝光系统成像的非线性滤波特点，分析了投影光刻中的光学邻近效应（ＯＰＥ）产生的机理，模拟了掩模上线条的线宽，线间距的变化对光刻成像质量的影响。
【机 构】
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四川大学物理系
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2000年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金,教育部博士点基金,微细加工光学技术国家重点实验室基金资助项目
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