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电子束光机束斑和束流的测量
电子束光机束斑和束流的测量
来源 :电子与仪表 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhaihoufu
【摘 要】
:
介绍了电子束曝光机束斑和束流的检测才测量放大电路的设计,讨论了了放大电路的低漂移和高抗干扰性能的保证措施。
【作 者】
:
陈振生
杨立才
【出 处】
:
电子与仪表
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
束斑
束流
刀口法
测量放大电路
电子束曝光机
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介绍了电子束曝光机束斑和束流的检测才测量放大电路的设计,讨论了了放大电路的低漂移和高抗干扰性能的保证措施。
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