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【摘 要】
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梳齿电容是微电子机械系统中所广泛使用的结构,在微纳力测量装置中具有重要作用。针对微纳力测量装置中所使用的不同梳齿结构,利用数值模拟的方法,分析了不同形状梳齿作为微
【机 构】
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安庆职业技术学院机电工程系
【出 处】
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安庆师范大学学报:自然科学版
【发表日期】
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2020年2期
【基金项目】
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安徽省教育厅自然科学研究重点项目(KJ2018A0897),安徽省教育厅自然科学研究重大项目(KJ2019ZD77),安徽省教育厅质量工程项目(2019xqsxzx39)
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