基于微纳加工技术的生物传感器研究进展

• 作 者: 李杜娟 陈慧旖 刘超然 樊凯 王高峰
• 机 构: 杭州电子科技大学,智能微传感器与微系统教育部工程研究中心
• 出 处: 电子学报
• 发表日期: 2021年6期
• 关键词: MEMS/NEMS技术 生物传感技术 器件 传感机理 技术难点
• 基金项目: 国家重点研发计划政府间国际科技创新合作重点专项(No.2018YFE0120000),浙江省重点研发项目(No.2019C04003),国家自然科学基金青年基金项目(No.61804038),公益技术研究计划/社会发展(No.LGF18H1800052018)。

微/纳电子机械系统MEMS/NEMS(Micro/Nano Electro-Mechanical Systems)技术作为一种成熟的微结构制造技术,可实现硅基纳米级传感器器件的批量化、集成化制造,形成具有体积小、质量轻、性能高的微型传感器及其测试系统.生物传感技术可以将生物敏感反应信号转化为光电等信号而被检测.与其他生物传感器相比,采用MEMS/NEMS技术制备的生物传感器,灵敏度更高、响应时间更短、检测性能更强,更为实现自动化高通量的医学诊断提供了有力的支持.本文着重探讨MEMS/NEMS生物传感器常见