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讨论了一 执 式硅微结构压力传感器闭环系统。该谐振式硅微结构压力传感器以方形硅膜片作为一次敏感元件；硅梁作为二次敏感元件。在硅梁谐振子的中部设置一电阻，作为热激励单元；在梁的要部设置一压敏电阻，作为拾振单元。基于该夺式硅微结构压力传感器敏感机理，分析了信号的相互转换，给出传感器闭环系统实现的条件。