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针对两种补偿结构探讨了硅的凸角腐蚀补偿原理，设计了补偿版图，并在KOH腐蚀液中进行实验验证，获得了好的直角凸面补偿效果。
硅各向异性腐蚀技术研究
【摘 要】
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针对两种补偿结构探讨了硅的凸角腐蚀补偿原理，设计了补偿版图，并在KOH腐蚀液中进行实验验证，获得了好的直角凸面补偿效果。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十七研究所
【出 处】
：
微处理机
【发表日期】
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2012年6期
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