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介绍了基于PLD方法制备的ZnO薄膜，在衬底温度（200-400℃）改变的情况下，分别对薄膜的表面结构和光致发光的情况做了研究，发现其相关特性并得出了制备薄膜的最佳条件。
PLD法薄膜沉积条件对ZnO薄膜特性的影响
【摘 要】
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介绍了基于PLD方法制备的ZnO薄膜，在衬底温度（200-400℃）改变的情况下，分别对薄膜的表面结构和光致发光的情况做了研究，发现其相关特性并得出了制备薄膜的最佳条件。
【机 构】
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中国科学院安徽光学精密机械研究所,郑州大学物理工程学院
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2006年3期
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