基于声表面波双端谐振器的气体传感器

• 作 者: 戴恩光 冯冠平 何振华 崔大付
• 机 构: 清华大学精密仪器与机械学系!北京100084,中科院电子所传感器国家重点实验室!北京100080
• 出 处: 传感技术学报
• 发表日期: 1997年01期
• 关键词: 气体传感器 声表面波 双端 化学量传感器 传感技术 SAW谐振器 化学传感器 灵敏度比 敏感膜 敏感机理

首先研究了双端声表面波谐振器的一些特点,然后从传感技术角度,给出了一种不用延迟线而采用谐振器(SAWR)对有机气体检测的新方法。

Firstly, some characteristics of the double-ended SAW resonator are studied. Then, a new method of organic gas detection using a resonator (SAWR) without a delay line is given from the perspective of sensing technology.