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将平均粒径为75～150nm的线状、片状和近球形纳米SnO2粉末，分别在25MPa压力下压制成形，以及在1050℃、1300℃和1500℃温度下无压烧结，获得不同密度的高纯SnO2陶瓷靶材，并对不同形状纳米SnO2粉体制备的靶材进行断口形貌观察及密度分析。结果表明，近球形纳米SnO2粉体在低温无压下烧结的靶材性能明显优于其它两种形状粉体的靶材性能，前者在1050℃下烧结2h后，相对密度接近90％，且坯体表面光滑、平整，易于加工成形，已用于批量生产。