【摘 要】
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<正> 一引言高纯氯化氢是电子工业中制造大规模集成电路所需的重要材料之一。我国电子工业所用高纯氯化氢过去大多是从美、日等国进口。由于进货不及时,且价格昂贵,国内只好
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<正> 一引言高纯氯化氢是电子工业中制造大规模集成电路所需的重要材料之一。我国电子工业所用高纯氯化氢过去大多是从美、日等国进口。由于进货不及时,且价格昂贵,国内只好采用硫酸洗涤除氯化氢中的水,或用盐酸脱析制得纯氯化氢气体,这就使水份等杂质含量高,严重影响了电子元件的质量。1983年,我所接受了研制高纯氯化氢的任务。经过3年努力,已于1986年制得合格产品,即
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