【摘 要】
：
本文应用工艺模拟程序研究硼再分布的初始阶段,分别使用不同的氧化速率常数、分凝系数和扩散系数的模拟,表明初始阶段存在单向的硼增强扩散.其次通过模拟研究说明,确可由工艺
论文部分内容阅读
本文应用工艺模拟程序研究硼再分布的初始阶段,分别使用不同的氧化速率常数、分凝系数和扩散系数的模拟,表明初始阶段存在单向的硼增强扩散.其次通过模拟研究说明,确可由工艺参量和工艺条件的选取控制扩硼的工艺均匀性.
In this paper, the process simulation program was used to study the initial stage of boron redistribution, using different oxidation rate constants, segregation coefficient and diffusion coefficient simulation, indicating that there is unidirectional boron enhanced diffusion in the initial stage.Secondly, through the simulation study, The selection of parameters and process conditions controls the process uniformity of boron.
其他文献
我们乖巧,我们是主人最贴心的伙伴和跟屁虫。我们有一技之长,我们不甘平庸。我们是称职的宠物,是对社会有贡献的精灵。不要质疑我们收藏太多宠爱,我们凭本事走江湖。2014年初
福尔摩伍外出旅行,住在一家旅馆里。服务员给他安排了一个单人间,并告诉他整个楼层都是单人间。晚上,福尔摩伍正在房间里看电视,忽然听到有人敲门。他打开门一看,是一个陌生
目的:探讨经后腹腔镜肾上腺肿瘤切除术的安全性和疗效。方法:总结分析我院2007年5月至2008年4月45例肾上腺肿瘤经后腹腔镜切除术的临床资料。45例患者年龄42.96±2.13岁,男13
美术是美的教育,不认识美、不懂得美、不会欣赏美,就不会创作出高品位的美术作品和表现技法.美术,美术,美在前、术在后,美是第一位,术是表达美的方式方法.小学美术教学更应该
作为教育行为的实施者,小学教师,尤其是班主任,可能更多地以习惯性思维审视我们的教育对象——学生,而对自身在教育过程中出现的问题,往往会有所忽视.这种自我审视上的盲点,
周末,爸爸妈妈计划带我去爬雅玛里克山,我兴奋极了,盼望着这一天快点到来.rn终于等到了这一天,妈妈告诉我说:“明天我们去爬山.”我一听,高兴得又蹦又跳,急忙帮爸爸把第二天
用AES研究了P-InP与Au,Cr,Ti,Cr/Au和Ti/Pd/Au界面在热处理过程中的互扩散现象。结果表明:Au,Cr有内扩散现象发生,Ti,Pd层对内扩散有一定阻挡作用。用Ti/Pd/Au体系作InGaAsP/
在每个人的性格里,都会找到某种动物的影子.那么,就请回答下面的问题,看看你身上有哪种动物的影子.
周末,我在社区里遇见了几个朋友,他们正在折纸船.正好,我前几天也发现了一种特殊的“船”,于是我信心十足地把朋友们叫到家里来.