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磁控溅射金基合金镀膜材料以其特有的性能和特点,应用范围越来越广.作为源材料,金基合金靶材的质量对溅射工艺及镀膜性能起着至关重要的作用.主要介绍常用金基合金的种类;金基合金溅射靶材的制备方法及应用现状;高端金基合金溅射靶材制备的技术要求、存在的问题及未来的发展思路.
磁控溅射金基合金靶材的制备、应用及发展趋势
【摘 要】
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磁控溅射金基合金镀膜材料以其特有的性能和特点,应用范围越来越广.作为源材料,金基合金靶材的质量对溅射工艺及镀膜性能起着至关重要的作用.主要介绍常用金基合金的种类;金
【机 构】
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东北大学材料与冶金学院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2014年5期
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