SU-8胶高温碳化制备微电极研究

• 作 者: 李大维 李刚 菅傲群
• 机 构: 太原理工大学新型传感器和智能控制系统重点实验室(教育部),太原,030024
• 出 处: 化工新型材料
• 发表日期: 2004年期
• 关键词: SU-8胶 高温碳化 超级电容器 微电极

采用SU-8光刻胶为前驱体,控制转速在硅基上均匀旋涂SU-8胶薄膜,采用不同碳化温度制得微型微机电系统(MEMS)超级电容器多孔碳电极材料.研究结果表明:在碳化温度为900℃的条件下,制得的MEMS超级电容器多孔碳电极材料的孔隙结构发达、导电性较好,0.5mA/cm2电流密度下比电容可达49.3mF/cm2,在超级电容器电极材料领域具有较好的市场前景.