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研究用辉光放电质谱法（GDMS）同时直接测定中低合金钢中的B，C，Al，P，S，Ti，V，Cr，Mn，Co，Ni，Cu，As，Zr，Nb，Mo，Sn，W共18种元素。对仪器进行质量校正，以确定正确的质谱峰位置。通过对分析元素质谱干扰情况的考察，选择合适的同位素用于分析。根据分析元素相对强度和相对强度的稳定性，对辉光放电参数如电流、电压、预溅射时间进行了优化。采用相对灵敏度因子（RSF）进行质谱定量分析。方法用于测定中低合金钢标准样品，分析结果与标样的认定值相吻合，大部分元素的相对标准偏差（RSD）小于5％