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<正>1.项目名称大尺寸超高纯铝靶材的制造技术2.项目主要研究内容(1)超高纯度铝原料的制备技术。针对大规模集成电路制造用及TFT-LCD制造用超高纯铝及铝合金靶材的要求,开展化学纯度99.999%-99.9995%的超高纯铝精炼提纯技术研究。(2)进行大型铝及铝合金靶材的形变加工成型与微
新材料技术领域“大尺寸超高纯铝靶材的制造技术”重点项目申请
【摘 要】
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<正>1.项目名称大尺寸超高纯铝靶材的制造技术2.项目主要研究内容(1)超高纯度铝原料的制备技术。针对大规模集成电路制造用及TFT-LCD制造用超高纯铝及铝合金靶材的要求,开展
【出 处】
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中国新技术新产品
【发表日期】
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2008年05期
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