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报道了近年来在ＨｇＣｄＴｅ分子束外延柔性制造技术研究中取得的初步结果，并对面临的任务进行了讨论。研究表明：ＨｇＣｄＴｅ分子束外延薄膜具有很好的组分均匀性、表面形貌、电学参数以及组分可重复性。用分子束外延ＨｇＣｄＴｅ薄膜成功地研制出了３２×３２红外焦平面器件。
HgCdTe分子束外延柔性制造技术研究
【摘 要】
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报道了近年来在ＨｇＣｄＴｅ分子束外延柔性制造技术研究中取得的初步结果，并对面临的任务进行了讨论。研究表明：ＨｇＣｄＴｅ分子束外延薄膜具有很好的组分均匀性、表面形貌、电学参数以及组分可重复性
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所半导体薄膜材料研究中心及红外物理国家重点实验室
【出 处】
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高技术通讯
【发表日期】
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1999年3期
【基金项目】
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863计划,国家自然科学基金
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