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来源 :科教导刊 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
加热五氧化二磷升华,用氮气携带,与硅片反应制备P-N结.本实验采用的是四因素四水平的正交实验,硅片和五氧化二磷置于封闭的石英管加热炉内进行反应,制备出的P-N结用RTS-9型双
【作 者】
:
潘峰
周芸
储清梅
冯伟光
【机 构】
:
昆明理工大学
【出 处】
:
科教导刊
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
单晶硅
扩散
正交实验
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