基片表面倾斜及衍射对激光会聚原子沉积条纹的影响

来源 :中国计量大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong488
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目的:探究基片对激光会聚原子沉积的影响。方法:根据光学势阱中原子运动的轨迹方程,对会聚场的光学势阱、原子运动轨迹和沉积条纹等进行了仿真实验。结果:衍射式光学势阱使原子轨迹提前会聚,进而与倾斜角一起对沉积条纹的质量参数产生了影响。在正倾时,随着|x0|的增大,条纹半高宽增大,条纹峰值减小;在负倾斜时,随着|x0|的增大,条纹半高宽保持不变,条纹峰值增大;同时随着|x0|的增大,沉积条纹的峰值位置相对于波节的偏移量趋向单调增大。在非衍射条件下,偏移量增大4 nm;在衍射条件下,偏移量增大15 nm。结论:由于
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