【摘 要】
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磁控溅射技术因为其自身所具有的显著优点,已经被越来越广泛的运用于各个领域,其中以工业镀膜方面的应用最为广泛,相应的其生产技术也得到了很大的改进。文章着重讲述磁控技
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磁控溅射技术因为其自身所具有的显著优点,已经被越来越广泛的运用于各个领域,其中以工业镀膜方面的应用最为广泛,相应的其生产技术也得到了很大的改进。文章着重讲述磁控技溅射技术的原理,特点以及磁控溅射技术的发展趋势。
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